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7nm大战在即 买不到EUV光刻机的大陆厂商怎么办?
编辑: admin 日期: 2017-09-01 人气: - 评论: 0

基于SAMSUNG10nm制程工艺的骁龙835早已随着SAMSUNGS8、小米6等一众手机面世,而基于台积电10nm制程工艺的联发科Helio X30也和魅族Pro 7系列手机一起亮相了。除此之外麒麟970及A11处理器将于今秋和消费者见面,各家产品虽有强有弱但手机芯片的10nm时代已经展开,下一步就是向7nm推进,工艺推动者无疑就是SAMSUNG和台积电这两家已较劲了几代制程的业者了。

7nm大战在即 买不到EUV光刻机的大陆厂商怎么办? 

对于7nm制程工艺,SAMSUNG和台积电两大晶圆代工领域巨头都早已入手布局以便争抢IC设计业者们的订单。其中SAMSUNG原定于明年破土动工的韩国华城18号生产线动工时间已被提前到了今年11月,以便在2019年能够进入7nm制程量产阶段。值得注意的是SAMSUNG华城18号生产线将会架设10多台极紫外光(EUV)设备。而根据早前的报道,目前台积电在7nm上已有12个产品设计定案,第一代7nm将在2018年实现量产(一说为年前实现量产),第二代7nm则会在2019年实现量产,并导入极紫外光技术。

不论是SAMSUNG还是台积电在7nm上都将引入EUV设备,而这种被视为延续摩尔定律的设备的研发正是因为制程工艺进入10nm后难度骤增,193nm光刻技术不足以应付7nm、5nm的需要,所以寄希翼于研发EUV光刻工艺来推动制程进步。

7nm制程的进度在一定程度上也是被EUV设备所控制的,而EUV设备却是被荷兰半导体设备厂商ASML所控制的。据悉ASML是一家从事半导体设备设计、制造及销售的企业,于1984年从飞利浦独立出来,在去年先后宣布收购汉微科及蔡司半导体24.9%股份。这家垄断了高端光刻机市场的厂商股东中有三家就是www.248cc.com耳熟能详的英特尔、台积电和SAMSUNG。而据其公布的2017第二季财报显示,企业该季营收净额为21亿欧元,毛利率为45%。

EUV光刻机研发难度非常大因此单台价格高昂至少要1亿多欧元,但这种价值连城的设备还不是有钱就能买到的,如受限于《瓦森纳协定》,大陆的厂商就买不到最高端的光刻机设备。此外,由于EUV光刻机生产难度和成本都非常大,导致称霸了该领域的ASML年产量也只有12台。不过有报道称,ASML正在提升生产效率,或能在2018年将产能增加到24台,2019年达到40台。

对于大力投入集成电路发展的大陆,ASML虽然不能出售最高端的设备,但是也有其他的合作方式。3月份时,与上海微电子装备(集团)股份有限企业签署了战略合作备忘录;6月份时,宣布与上海集成电路研究开发中心合作,将共同建立一个培训中心。而国内对于高端光刻机设备的研究也十分重视,由长春光机所牵头承担的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻关键技术研究”项目已于今年6月在评审专家组的一致同意下通过了项目验收,这是我国极紫外光刻核心光学技术水平提升的重要一步。


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