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评论:ASML获重大突破 EUV微影时代即将到来

半导体产业终于还是快要盼到极紫外光(extreme ultraviolet,EUV)微影技术的大量生产──在近日于美国旧金山举行的2017年度Semicon West半导体设备展,微影设备大厂ASML宣布该企业已经达成了最重要且长期难以突破的里程碑:250瓦(watt)的EUV光源。 [更多>>]

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